Водокольцевой вакуумный насос (насосы ВВН) применяются во многих отраслях промышленности, в которых есть необходимость в безмаслянном вакууме с абсолютным давлением до 10-20 кПа. Использование указанных насосов с воздушными эжекторами позволяет использовать их в качестве форвакуумных насосов в системах безмасляной откачки, что значительно расширяет области их применения. Водокольцевые вакуумные насосы ВВНтакже используются для откачивания в паротурбинных установках паровоздушной смеси, что приводит к значительному уменьшению расхода воды. Высоковакуумными механическими насосами являются турбомолекулярные насосы и пароструйные насосы (паромасляные и парортутные). Откачка в молекулярных насосах осуществляется следующим образом: количество движения от жидкой, твёрдой или газообразной быстродвижущейся поверхности передается молекулам газа. К таким насосам относятся: эжекторные, диффузионные молекулярные насосы, водоструйные, имеющие одинаковое направление движения молекул газа и откачивающей поверхности, а также турбомолекулярные насосы, для которых характерно взаимно перпендикулярное движение откачиваемого газа и твёрдых поверхностей. Используются они как самостоятельные с pост=10-9 мм рт. ст. (10-7 Па) или как форвакуумные насосы с рост от 60 до 10-4 мм рт. ст. (до 10-2 Па).

В сорбционных испарительных (геттерных) В. н. поглощающая поверхность создаётся напылением химически активных металлов (Ва, Ti, Zr, Та, Mo и др.). Образующиеся плёнки поглощают большинство газов, присутствующих в вакуумных системах (O2, СO, СО2, пары Н2O), за счёт образования хим. соединений, хемосорбции (Н2) и растворения. Инертные газы и углеводороды практически не поглощаются, их удаляют вспомогательным пароструйным В. н. или ионной откачкой. Но полностью освободиться от углеводородов (напр., от СН4) не удаётся, они синтезируются на поверхности плёнки поглотителя, играющей роль катализатора.